MoS2膜は、固体潤滑膜として使用されます。
潤滑油が使用できない環境などでの摺動、シール面への成膜に適しています。
タイゴールドではMoS2の下地にTiN膜を併用することでMoS2膜の密着性と耐久性をさらにアップさせることが可能となりました。
比較的低温で成膜できるので金属以外にもセラミックスや耐熱樹脂の基材にも使えます。タイゴールドのMoS2膜はキメの細かい柱状結晶が特徴です。
●MoS2/TiN膜の成膜限度
●主な応用分野と使用目的
応用分野 | 宇宙開発 | 真空・精密機器 | ロボット・自動機械産業 | 電力産業 |
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製品名称 | バルブ レールスライド |
電子顕微鏡部品 駆動機構部品 |
シャフト ステージレール チェーン |
タービンバルブ 回転シール |
使用目的 | 耐摩耗 耐食 |
耐熱 高耐過重 真空特性要求部品 |
耐摩擦 耐摩耗 |
重荷重耐摩耗 |